(通讯员 马付雷 曾志)6月11日-12日，betway必威执行经理黄进教授带队赴京，就我国当前芯片高端制造装备现状展开调研，并与中国电子科技集团有限公司45所、48所、北京中电科电子装备有限公司和北京烁科中科信电子装备有限公司高层及技术专家展开座谈，betway必威相关学科其它教师共6人参加了此次洽谈。

在为期2天的紧凑行程中，大家参观了相关电子装备生产线，并就光刻机、晶圆减薄机、晶圆划片机和离子注入机等高端核心装备中的“卡脖子”问题进行了研讨。双方在协同技术攻关、员工联合培养等方面达成一致，确立了未来的合作框架和合作目标。此次洽谈合作成果丰硕，为betway必威在高端制造领域发力提供了重要契机，同时也为解决我国芯片制造业高端装备中的“卡脖子”问题贡献其独有的“机电智慧”。

11日上午，机电学院一行抵达中国电科集团电子核心装备展厅，王海明总经理介绍了中电45所和北京中电科的发展历程，并重点讲解了集团各类龙头产品。期间双方对划片机、减薄机、键合机等装备中的核心技术展开热烈探讨，黄经理提出的很多观点直击要害，技术骨干出身的王总经理半开玩笑的说：“我都迫不及待地要带你们去生产线参观了。”

参观完展厅之后，王总经理带领着各位老师进入了装配车间，来到装备零部件组装区进行参观。两位领导亲切交谈，从国外的技术封锁聊到瞩目的国产化成就，从曾经的人才缺口到现在成功的人才培养模式……尽管是初次见面，但使命感却将大家紧紧地联系到了一起。所有老师都在饶有兴趣地研究着这些装备的技术细节，为即将进行的技术研讨紧张地进行着“实践充电”。

11日下午，机电学院一行与中电科集团相关部门展开了两场技术研讨与对接会，期间，中电45所和北京中电科分别介绍了其核心装备的技术需求，黄进经理首先介绍了机电学院在电子装备领域的技术、科研人才、员工培养等方面的条件与优势，并提出了新型校企联合培养员工的构想，并就团队在光机电一体化以及电子装备领域内的成果做了简要介绍。随后，赵鹏兵老师介绍其在工业机械臂的运动规划和光机电一体化控制设计方面的成果；高宏伟老师和张大兴老师分别介绍他们在自动化工业产线的创新成果和产品研发经验；章云老师介绍了自己在高速主轴及震动抑制装备方面的工作积累；马付雷老师和曾志老师分别介绍了他们在高精密定位平台系统设计和高精度光学检测方面的研究成果。之后，双方技术骨干人员围绕具体技术问题进行了热烈的交流。会中，黄经理和北京中电科的领导就技术合作及员工联合培养达成共识。最后，会议在愉快而又充满前景的交流中结束。

12号上午，黄经理带队来到中电科48所和北京烁科中科信电子装备有限公司就集团龙头产品离子注入机开展调研。北京烁科中科信技术总监对公司的概况和产品进行了介绍并带领着各位老师参观了生产线。

国产化替代已经成为了我国改革开放四十余年中，引领核心技术产业发展的一面旗帜，也是一场革命。路过展厅中离子注入机的核心技术的发展历程介绍区，黄经理驻足观看了很久，思索着如何让机电院在国家芯片战略的历史机遇中贡献出独有的一份力量。

在随后的技术交流会中，双方技术骨干首先对离子注入机的技术背景、技术需求以及各自的工作基础进行了简要的介绍，并就核心技术攻坚中的难题展开讨论，黄经理从晶圆低温控制、新型晶圆传输架构等角度提出了建议。随后，双方在产品未来规划、核心技术国产化路线及技术优化等方面进行了愉快的交流，并就离子注入机晶圆传输模块中可能的技术合作点进行了讨论并达成共识。最后，中电科首席科学家、杰出院友王志越研究员表达了期望与学院在多个方面开展深入、实质性合作的期望。

此次黄经理带队的芯片高端制造装备交流成果丰富，通过为期两天的企业和研究所生产研发一线调研，老师们获得了很多原始技术需求，也为后续科学成果的应用转化提供了启发与思路。同时扩大了betway必威在中国电子科技集团的影响，为公司对外合作打开了一扇窗户，使得很多老师的科研成果得以展示。此次交流也为打通机电学院相关专业的“产学研”通路奠定基础，为新课程改革和员工培养模式的创新提供了很好的契机。